Universitetet i Tokyo har med hell utviklet en ny teknologi for lasermikrohulls prosessering av glassunderlag
Nylig kunngjorde University of Tokyo den vellykkede utviklingen av en "laser mikrohulls prosesseringsteknologi" for neste generasjon av halvlederglassunderlag, som kan oppnå høypresisjon, ekstremt liten blenderåpning og høyt aspektforhold som brukes i eksperimentet er ". glasset {
Ved hjelp av ultra-short puls dype ultrafiolette lasere, har teamet oppnådd presisjonsbehandling av mikronnivå av glassmaterialer-diameteren til penetrasjonshullet er mindre enn 10 mikron, og aspektforholdet kan nå 20:}}} tidligere, det var vanskelig å forberede høye ratio hole-strukturer basert på laser baktet et ( Behandlingsteknologi brøt ikke bare gjennom denne flaskehalsen, men oppnådde også sprekkfri hullbehandling av høy kvalitet . I tillegg krever ikke denne prosessen kjemiske behandlingstrinn, noe som kan redusere miljøbelastningen forårsaket av flytende avfallsbehandling . betydelig forårsaket av flytende avfall .
Mikroskopiske bilder av mikroporer boret på en-a1 glass ovenfra og side
Denne prestasjonen er en viktig milepæl i den etterbehandlingsteknologien til neste generasjons halvlederproduksjon . Som underlagets kjernemateriale og interposermateriale overgang til glassbasert, denne teknologien gir en nøkkeloppløsning for å fremme å fremme glassunderlag . i fremtiden og høyere integrering av glassutvikling av SEMLEMPLED-en som er en høyere integrering av glass underlaget. teknologi .
