Som vi alle vet, er det bare én produsent i verden som kan produsere EUV-litografi, det erNederland ASML.
Grunnen til at det bare er én produsent i verden er at ASML har knyttet mange nøkkelprodusenter sammen, som Zeiss (Zeiss), et tysk optikkselskap, Cymer (USA), ogTRUMPF (Tyskland).
ASML har knyttet disse produsentene til sin vogn gjennom investering, oppkjøp, eierandel, etablering av forskningssentre, og så videre, og disse produsentene er sannsynligvis de eneste produsentene i verden som kan produsere disse produktene, så til syvende og sist er det bare ASML i verden som kan produsere EUV litografi.
Imidlertid løp en nøkkelforsyningskjede av ASML nylig til Shenzhen, Kina for å bygge en fabrikk, og Shenzhen-datterselskapet slo seg ned i Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Park.
Denne produsenten er Tysklands TRUMPF Group (TRUMPF), det er ASMLs EUV litografi, verdens eneste laserkildeleverandør.
TRUMPF-produkter i EUV-litografien, hvor viktig? Først, hør på meg forklare prinsippet om EUV litografi, vil du forstå.
Prinsippet for EUV litografi, for å si det enkelt, er sentrert om tre hovedsystemer, EUV ultrafiolett lyskildesystem, objektivspeilsystemet og bordsystemet.
Den spesifikke prosessen er å bruke en laser til å eksitere en 13,5 nm bølgelengde av ekstremt ultrafiolett lys, som deretter korrigeres for å danne en kontrollert lysstråle, som deretter projiseres på et fotomaskebord før den projiseres gjennom et objektivspeil på et eksponeringsbord og til slutt etset inn i en krets på en silisiumplate belagt med fotoresist.
Hvordan et av EUV UV-lyskildesystemene oppnås ved å bombardere en tinn (Sn) metalldråpe med en 30 kW kraft CO2-laser, fordampe den til et plasma og til slutt oppnå EUV-lys ved 13,5 nm bølgelengde.
Denne 30 kW CO2-laseren er levert av TRUMPF, den eneste i verden.
Ikke undervurder denne CO2-laseren, den har 457 329 deler, kabellengden i systemet er opptil 7 322 meter, og vekten er 17 090 kg, som er en av de viktigste kjernekomponentene i EUV-litografi.
Nå TRUMPF løp til Kina for å bygge en fabrikk, intensjonen er klar, det vil si optimistisk om det kinesiske lasermarkedet, og enda mer langsiktig syn, optimistisk om det kinesiske litografimarkedet, kan fremtiden samarbeide med Kina for å bygge EUV litografi .
Faktisk er det allerede mer enn én ASML-forsyningskjede som kjører til Kina for å bygge en fabrikk, det er KMWE og andre produsenter, også til Kina for å bygge en fabrikk.
I henhold til den nåværende trenden, kan vi optimistisk forvente at det ikke kan være lenge før Kinas litografiteknologi vil være et stort skritt fremover, og til og med volumet av output EUV litografi, kan også se frem til, tror du?
